中国科学技术信息研究所--国家工程技术数字图书馆

排序：

[期刊] 李学瑞武文革安春华成云平刘丽娟隋安平《工具技术》 2017年7期共3页

摘要 : 利用直流磁控溅射的方法制备Ni80Cr20合金薄膜,以氩气流量、氩气工作压强、溅射功率作为三因素进行正交试验,在溅射时间相同的条件下分别测试了薄膜厚度、表面粗糙度、电阻率并进行了极差分析.分析结果表明:在一定范围内,氩气工作压强与溅射功率对薄膜... 展开

关键词 : 直流磁控溅射镍铬薄膜溅射参数

[期刊] 张俊卢振强《广东科技》 2012年13期共2页

摘要 : 实验研究了Al2O3陶瓷基板、银钯电极、树脂保护层三类基体材料共12种基体与镍铬薄膜的附着力,优选得出可以获得良好薄膜端电极附着力的材料用于片式电阻器的生产,结合薄膜与基体的附着机理解释了不同基体材料对薄膜附着力的影响。

关键词 : 磁控溅射镍铬薄膜基体附着力

[期刊] 穆杰张开方李玉茹《半导体情报》 1994年6期共4页

摘要 : 在利用磁控溅射方法制作用于ＩＣ的镍铬薄膜电阻过程中，发现在对薄膜热处理时薄膜的电阻特性发生了有规律的变化，这种变化不是单纯的线性增大或减小。针对这种现象，我们经过分析认为，由于金属膜薄的电阻率不同于块状金属的电阻率，已不是定值，它... 展开

关键词 : 热处理薄膜电阻集成电路镍铬薄膜

[期刊] 吴勇马中发杜磊何亮《电子科技》 2014年12期共6页

摘要 : 薄膜电阻的低频噪声同器件的损伤程度密切相关.文中采用两级低噪声放大器和高速高精度PCI数据采集卡构建的测试系统测量了一组1.5 kΩ镍铬薄膜电阻老化试验前后的低频噪声,结合显微分析发现电迁移是薄膜电阻可靠性退化的主导机制,电迁移损伤发生前后低... 展开

关键词 : 镍铬薄膜电阻器低频噪声老化试验电迁移可靠性

5. 镍铬薄膜电阻器噪声特性研究 OA 北大核心 CSCD CSTPCD

[期刊] 吴勇杜磊庄奕琪魏文彦仵建平《电子元件与材料》 2006年1期共5页

摘要 : 薄膜电阻器的低频噪声有别于常规电阻器的噪声特征,与其结构和工艺密切相关.通过溅射工艺生产的阻值为1.5 kΩ镍铬薄膜电阻器分别在生产完成和1 000 h老化试验之后进行了低频噪声测量和分析得到器件低频噪声特征,结合电子元器件低频噪声理论探讨了器件... 展开

关键词 : 电子技术镍铬薄膜电阻低频噪声 1/f噪声 g-r噪声噪声来源电迁移

6. 硅基高精度镍铬薄膜电阻的制备和性能表征 OA 北大核心 CSTPCD

[期刊] 王强文郭育华刘建军王运龙宋夏《电子器件》 2018年6期共4页

摘要 : 集成无源元件(IPD)技术可以将分立的无源元件集成在衬底内部,提高系统的集成度.为了获得高精度的薄膜电阻,采用多层薄膜电路工艺在硅晶圆上制备了不同线宽的镍铬薄膜电阻,利用显微镜和半导体参数测试仪对薄膜电阻的图形线宽及电学特性进行了表征及测试... 展开

关键词 : 系统集成无源集成元件技术镍铬薄膜电阻多层薄膜电路工艺

7. 嵌入薄膜传感器切削力测量用刀具的结构设计 CSTPCD

[期刊] 韩燕文武文革张云涛成云平刘丽娟《工具技术》 2019年3期共4页

摘要 : 设计了一种嵌入薄膜传感器切削力测量用刀具模型.对刀柄通过铣槽、钻孔等方式加以改进优化,利用磁控溅射、光刻技术、扩散焊接等方法在45钢弹性薄片基底表面制备Ni80Cr20合金薄膜电阻栅,形成测力应变传感器并安装在刀柄表面.使用ABAQUS软件对模型进行... 展开

关键词 : 结构设计镍铬薄膜切削力测量传感器有限元分析