中国科学技术信息研究所--国家工程技术数字图书馆

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排序：

1. 微惯性仪表技术的研究与发展 CSCD

[期刊] 丁衡高王寿荣黄庆安裘安萍万德钧周百令苏岩《中国惯性技术学报》 2001年4期共4页

摘要 : 论述了当前国内外微惯性仪表设计和制造技术的研究与发展,强调了对相关基础理论研究的重要性,提出了计算机集成微制造单元的概念.

关键词 : 微惯性仪表微机械陀螺计算机集成微制造单元

2. 微小型惯性仪表发展现状、趋势以及对行业的影响 北大核心 CSCD CSTPCD

[期刊] 郑辛刘飞雷明王宝军《中国惯性技术学报》 2021年6期共8页

摘要 : 惯性仪表(包括陀螺和加速度计)是惯性技术的基础和核心,近年来,以高精度硅微机电陀螺、集成化微光纤陀螺、速率积分半球谐振陀螺、谐振式加速度计为代表的新型惯性仪表技术发展迅猛,相比传统惯性仪表,能够兼顾高精度和低SWa P+C(Size Weight and Powe... 展开

关键词 : 惯性仪表微机电陀螺集成化微光纤陀螺速率积分半球谐振陀螺谐振式加速度计

3. 微机电惯性仪表技术现状及发展方向

[期刊] 张洪立《导航与控制》 2003年4期共4页

摘要 : 微机电惯性仪表属微机电系统(MEMS)重要分支并备受欧美国家重视。本文提出了基于石英微细光刻技术的全石英惯测装置和基于体硅工艺的用于高动态低成本大批量系列化拦截武器的硅微惯性仪表技术的两种方案，并进行了相关特性比较和发展途径分析。指出石... 展开

关键词 : 微机电惯性仪表技术微机电系统发展方向硅微惯性仪表石英振梁式加速度计制造工艺

4. 微硅加速度计结构及线路初探 北大核心 CSCD

[期刊] 袁光董景新《仪器仪表学报》 1996年S1期共5页

摘要 : 本文在借鉴国外资料的基础上，结合现有的加工条件，对微硅加速度计结构及线路设计作了初步的理论和实践探讨。

关键词 : 加速度计微硅差动电容纳米技术尺寸效应军民两用技术惯性仪表保护膜不平衡电桥静电力反馈

5. 北京航天时代光电科技有限公司

[期刊] 无《海陆空天惯性世界》 2013年4期共1页

摘要 : 北京航天时代光电科技有限公司隶属于中国航天科技集团公司第九研究院。公司致力于光纤陀螺及系统、微机电／微光机电惯性仪表及系统、特种光电传感系统等高新技术产品的研发．是我国重要的光纤陀螺及系统、光纤传感系统的研制生产基地。

关键词 : 中国航天科技集团公司光电科技北京光纤传感系统高新技术产品光纤陀螺惯性仪表微光机电

6. 微机电惯性仪表

[期刊] 王巍赵采凡（审核）《导航与控制》 2005年4期共2页

摘要 : 微机电惯性仪表是指无机械运动的微型集成化惯性仪表，如集成化的光纤陀螺或力传感器，是20世纪80年代以来采用新兴的MEMS技术研制和开发的微小型化惯性仪表。根据所用基体材料的不同，分为硅微惯性仪表和石英谐振类惯性仪表。硅微惯性仪表包括：硅微... 展开

关键词 : 惯性仪表微机电硅微机械陀螺仪 20世纪80年代硅微机械加速度计机械运动力传感器光纤陀螺微小型化技术研制