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国家工程技术图书馆
2022年11月29日
摘要 : 微机电惯性仪表属微机电系统(MEMS)重要分支并备受欧美国家重视。本文提出了基于石英微细光刻技术的全石英惯测装置和基于体硅工艺的用于高动态低成本大批量系列化拦截武器的硅微惯性仪表技术的两种方案，并进行了相关特性比较和发展途径分析。指出石... 展开 微机电惯性仪表属微机电系统(MEMS)重要分支并备受欧美国家重视。本文提出了基于石英微细光刻技术的全石英惯测装置和基于体硅工艺的用于高动态低成本大批量系列化拦截武器的硅微惯性仪表技术的两种方案，并进行了相关特性比较和发展途径分析。指出石英小型惯性测量装置“十五”末可实现战术级即战术弹和高性能无人机应用；硅微惯性系统“十一五”可面向战术导弹、无人机和微卫星及高端车辆导航、炮弹等市场。 收起
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