中国科学技术信息研究所--国家工程技术数字图书馆

1. 微机械陀螺ASIC接口电路设计 OA 北大核心 CSCD CSTPCD

[期刊] 刘晓为莫冰王超谭晓昀许晓巍齐向昆《传感技术学报》 2006年5期共5页

摘要 : 在分析微机械陀螺接口电路工作原理的基础上,采用中电集团第24研究所的3μm10 V P-well标准模拟CMOS工艺设计并制作了微机械陀螺ASIC接口电路.电路HSPICE仿真灵敏度为0.252 mV/aF.芯片面积为5.5 mm×4.4 mm,在此工艺流片并进行了芯片测试.结果表明,在... 展开

关键词 : CMOS 微机械陀螺 ASIC

2. 微机械陀螺ASIC接口电路设计 OA 北大核心 CSCD CSTPCD

[期刊] 刘晓为莫冰王超谭晓昀许晓巍齐向昆《传感技术学报》 2006年5B期共5页

摘要 : 在分析微机械陀螺接口电路工作原理的基础上，采用中电集团第24研究所的3μm 10V P-well标准模拟CMOS工艺设计并制作了微机械陀螺ASIC接口电路．电路HSPICE仿真灵敏度为0．252mV／aF．芯片面积为5．5mm×4．4mm，在此工艺流片并进行了芯片测试．结果表... 展开

关键词 : CMOS 微机械陀螺 ASIC

3. 一种硅微机械陀螺测试转台的实现方法 CSCD CSTPCD

[期刊] 马英麒《航空精密制造技术》 2008年3期共4页

摘要 : 针对硅微机械陀螺的动力学特征,根据硅微机械陀螺测试试验对电机转速平稳可靠和噪声屏蔽要求,偏航轴的控制采用基于DSP的转台数字控制系统,仿真器控制采用Elmo公司的伺服控制系统,提出一套硅微机械陀螺测试台仿真器的解决方案.

关键词 : MEMS 微机械陀螺转台

4. 微机械陀螺在机载光电平台中的应用 北大核心 CSCD

[期刊] 陈永奇张春熹王敏《微计算机信息》 2006年5期共3页

摘要 : 本文介绍了微机械(MEMS)陀螺仪ADXRS300,它采用iMEMS技术,单片集成设计,并将所需要的信号调理电路集成在芯片中.并设计了三轴姿态稳定单元,应用在某机载光电平台中,实验数据表明,它的精度达到了中低精度场合的需求,而且大大减少了体积、功耗、重量,价格等.

关键词 : MEMS ADXRS300 微机械陀螺

5. 微机械陀螺在机载光电平台中的应用 北大核心 CSCD

[期刊] 陈永奇张春熹王敏《微计算机信息》 2006年2Z期共2页

摘要 : 本文介绍了微机械(MEMS)陀螺仪ADXRS300,它采用iMEMS技术,单片集成设计,并将所需要的信号调理电路集成在芯片中。并设计了三轴姿态稳定单元,应用在某机载光电平台中,实验数据表明,它的精度达到了中低精度场合的需求,而且大大减少了体积、功耗、重量,价格等。

关键词 : MEMS ADXRS300 微机械陀螺

6. 三轴微机械陀螺仪的结构设计与仿真 OA 北大核心 CSCD CSTPCD

[期刊] 唐群王寿荣《传感技术学报》 2006年5期共4页

摘要 : 提出了一种适应国内加工条件的三轴微陀螺仪,依据三轴陀螺的结构和工作原理,利用ANSYS有限元仿真软件对三轴陀螺的设计进行了计算和仿真.在此基础上,通过调节结构参数实现各轴驱动模态与敏感模态固有频率的匹配以提高各轴的灵敏度.最后介绍了加工所采用的工艺.

关键词 : 三轴微机械陀螺 ANSYS仿真

7. 三轴微机械陀螺仪的结构设计与仿真 OA 北大核心 CSCD CSTPCD

[期刊] 唐群王寿荣《传感技术学报》 2006年5B期共4页

关键词 : 三轴微机械陀螺 ANSYS仿真

8. 体硅微机械陀螺的设计与模拟 北大核心 CSCD

[期刊] 霍明学陈伟平曹一江陈强刘晓为张丹《哈尔滨工业大学学报》 2005年9期共4页

摘要 : 针对工艺误差引起的频率不匹配问题,模拟设计一种基于体硅工艺的新型结构高灵敏度微机械陀螺,采用差分驱动有效克服了静电力分布不均匀对灵敏度的影响.通过对陀螺的结构性能进行有限元模拟分析,合理选择结构参数,驱动频率为5.200 kHz,敏感频率为5.187... 展开

关键词 : 微机械陀螺有限元耦合

9. 振动式微机械陀螺

[期刊] Boxen.,B 朱金妙《战术导弹控制技术》 1993年1期共4页

关键词 : 微机械陀螺振动式

10. 微机械陀螺仪的新进展及发展趋势 北大核心 CSCD CSTPCD

[期刊] 许昕何杰王文卜继军《压电与声光》 2014年4期共8页

摘要 : 微机械陀螺仪是陀螺技术和微电子机械系统（MEMS）技术结合产生的新一代惯性器件。根据其工作原理和采用材料的不同，微机械陀螺可分为硅基微机械振动陀螺（Si-MVGs）、微机械压电振动陀螺（PVGs）和悬浮转子式微机械陀螺等。该文介绍了微机械陀螺仪的... 展开

关键词 : 硅基微机械陀螺微机械压电振动陀螺石英微机械陀螺