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国家工程技术图书馆
2022年11月29日
摘要: 该文主要是通过对电光微探针的研究分析来建立一套高空间分辨率的外电光取样检测系统.主要内容有:外电光取样原理;突破光学衍射极限提高空间分辨率的新型方法——微探针法的构造机理;微探针模型的建立;微探针的实验室研制;测量系统的逐步分析以及相关问... 展开 该文主要是通过对电光微探针的研究分析来建立一套高空间分辨率的外电光取样检测系统.主要内容有:外电光取样原理;突破光学衍射极限提高空间分辨率的新型方法——微探针法的构造机理;微探针模型的建立;微探针的实验室研制;测量系统的逐步分析以及相关问题的讨论.文章首次提出了通过使用电光微探针提高电光取样检测系统空间分辨率的方法,并建立起相应的电光微探针模型;在微探针制作过程中总结出一套精确探理论并运用于实际制作中,获得了尖端尺寸为0.1μm左右的GaAs微探针. 收起
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