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国家工程技术图书馆
2022年11月29日
摘要: 论文着重讨论了微探针法外电光取样的高空间分辨率的问题.用湿法化学腐蚀制作现基本符合要求的电光微探针.实验中首次制取了金字塔形电光微探针,目前未见文献报道.GaAs微探针类端尽寸最小达到0.7微米,并用1.3微米的红外激光和10微米的微探针进行了测量... 展开 论文着重讨论了微探针法外电光取样的高空间分辨率的问题.用湿法化学腐蚀制作现基本符合要求的电光微探针.实验中首次制取了金字塔形电光微探针,目前未见文献报道.GaAs微探针类端尽寸最小达到0.7微米,并用1.3微米的红外激光和10微米的微探针进行了测量,获得了一定的可行性验证. 收起
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