中国科学技术信息研究所--国家工程技术数字图书馆

Electron Beam Lithography for the Fabrication of Air-bridged, Submicron Schottky Collectors

[科技报告]

NASA

Muller, R. E., Martin, S. C., Smith, R. P., Allen, S. A., Reddy, M., Rodwell, M. J. W.

原文获取收藏分享

摘要: No Abstract Available

作者	Muller, R. E. Martin, S. C. Smith, R. P. Allen, S. A. Reddy, M. Rodwell, M. J. W.
原报告号	20060038233	总页数	2
报告类别/文献类型	NASA / NTIS科技报告
关键词	ACCUMULATORS AEROSOLS ELECTRON BEAMS FABRICATION GALLIUM ARSENIDES LITHOGRAPHY SAMPLERS SCHOTTKY DIODES SUBSTRATES Schottky collectors schottky diode collectors GaAs substrate