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    [期刊]   马辰卉   武文革   伏宁娜   王昕宇   成云平   刘丽娟   《工具技术》    2018年4期      共5页
    摘要 : 基于单晶硅靶材制备氮化硅薄膜的沉积参数正交试验,通过选择和研究溅射功率、工作压强、气体流量比和基底温度这四个因素,得到这四个因素对薄膜沉积速率和薄膜表面粗糙度的影响规律;利用从正交试验中得到的一系列观测值分别建立关于薄膜沉积速率和薄膜... 展开

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