摘要: 该文基于前人的实验理论,率先研究了锆钛比为94/6的锆钛酸铅薄膜的性能.实验中薄膜样品的结构为Pt/PZT/YBCO/LAO,LAO为基底材料,Pt和YBCO分别为PZT薄膜的上电极和下电极,YBCO薄膜用脉冲激光溅射(PLD)工艺沉积在基义牙,PZT薄膜同样用PLD工艺外延生长在... 展开 该文基于前人的实验理论,率先研究了锆钛比为94/6的锆钛酸铅薄膜的性能.实验中薄膜样品的结构为Pt/PZT/YBCO/LAO,LAO为基底材料,Pt和YBCO分别为PZT薄膜的上电极和下电极,YBCO薄膜用脉冲激光溅射(PLD)工艺沉积在基义牙,PZT薄膜同样用PLD工艺外延生长在下电极YBCO薄膜上.通过XRD衍射研究了样品的结晶状况,其衍射谱表明,在一定条件下沉积出来的PZT薄膜样品具有较好的结晶程度,晶格取向比较明显;用RT66测量了薄膜样品的铁电性,测量所得的电滞回线表明PZT薄膜样品具有良好的铁电性能,样品的剩余极化可达到Pr=12.5μc/cm<'2>通过HP4192阻抗分析仪得到薄膜的介电常数以及介电损耗与频率的关系,在频率为20KHz时其介电常数大约在120左右,在此频率下介电损耗大约在0.05左右,薄膜较低的介电常数以及介电损耗又为其作为一种优良的热释电材料提供了很好的依据;通过对热释电电流的测量可得到样品的热释电常数约为3nC/cm<'2>.K.在实验中,我们还研究了基底温度、退火温度以及掺杂等因素对薄膜性能的影响. 收起