摘要 : 在成功研制高精度IPC-205B型STM基础上对硬件设计和软件配备进行改进,研制开发了更高精度和应用更广的原子力显微镜.阐述该原子力显微镜的工作原理、组成及应用,详细介绍镜体的独特设计与控制过程、微悬臂的制作与工作过程.该样机采用简单适用的新型微... 展开
| 作者 | 彭光含 杨学恒 辛洪政 刘济春 李旭 |
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| 作者单位 | |
| 英文名称 | DESIGN OF HIGH RESOLVING CAPABILITY STM.IPC-205BJ TYPE ATOMIC FORCE MICROSCOPE |
| 期刊名称 | 《机械工程学报》 |
| 期刊英文名称 | 《JOURNAL OF MECHANICAL ENGINEERING》 |
| 页码/总页数 | 127-131 / 5 |
| 语种/中图分类号 | 汉语 / TH74 |
| 关键词 | 原子力显微镜 镜体 微悬臂 硬件设计 |
| 基金项目 | 国家自然科学基金(59775069)、湖南省教育厅(06C606)、湖南文理学院自然科学基金(JJQD05051)资助项目. |
| 收录情况 | BDHX CSCD CSTPCD |
| 机标主题词 / 分类号 | 原子力显微镜;微悬臂;硬件设计 / TH742;TH210*;TP2 |
