摘要 : 提出了一种基于法布里-珀罗干涉的方法用于原子力显微镜微悬臂偏移量的检测.设计了一个球面反射镜与微悬臂组成的半球面布里-珀罗腔,并利用高单色性的激光器作为光源,激光光束在半球面布里-珀罗腔中多次反射并原路返回形成干涉.根据多光束干涉原理确定... 展开
| 作者 | 黄剑 詹维纳 陈杨黎 卢景琦 |
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| 作者单位 | |
| 英文名称 | Micro-cantilever Displacement Detection System Based on Fabry-Perot Interference |
| 期刊名称 | 《光子学报》 |
| 期刊英文名称 | 《Acta Photonica Sinica》 |
| 页码/总页数 | 109-115 / 7 |
| 语种/中图分类号 | 汉语 / O436.1 |
| 关键词 | 位移测量 法布里-珀罗干涉仪 原子力显微镜 微悬臂 强度解调 |
| DOI | 10.3788/gzxb20184712.1212003 |
| 基金项目 | 国家重大科学仪器设备开发项目(No.2013YQ160551)资助 |
| 收录情况 | BDHX CSCD CSTPCD |
| 机标主题词 / 分类号 | 微悬臂;原子力显微镜;空腔 / TH210*;TH742;ZT74* |
