中国科学技术信息研究所--国家工程技术数字图书馆

1. 金刚石薄膜的紫外区电致发光 北大核心 CSCD

[期刊] 张兵临王小平何金田刘大军王建恩 Howard R.Shanks 《科学通报》 1996年6期共3页

摘要 : @@ 金刚石薄膜在光谱蓝区的电致发光已有过一些研究工作[1～3].然而迄今为止,金刚石薄膜在紫外光谱区的电致发光现象尚未见有报道.我们采用了非晶金刚石薄膜--本征金刚石薄膜--掺杂金刚石薄膜3层结构,制备了电致发光器件.观察到在近紫外光谱区380 nm处有一发光主峰.

关键词 : 金刚石薄膜非晶金刚石薄膜电致发光

2. 绝缘材料薄膜在SEM的直接观察法

[期刊] 曾跃武卢兆伦石成儒庞国锋邱东江张慧明顾建明《广西大学学报：自然科学版》 1993年S1期共3页

摘要 : 用扫描电镜S-570直接观察了绝缘材料——金刚石薄膜形貌。观察过程中无放电现象,与表面喷金相比较。发现观察结果无区别。并从理论上进一步探讨其原因,为绝缘材料观察提供了一种新的方法。

关键词 : 金刚石薄膜放电

3. 一种加工金刚石薄膜的新方法

[期刊] 《四川化工》 1994年4期共2页

关键词 : 金刚石薄膜刻蚀

4. CVD金刚石薄膜摩擦学性能的研究现状 北大核心 CSCD CSTPCD

[期刊] 孙洪涛王小平王丽军孙义清王金烨王子风曹双迎《材料导报》 2014年5期共7页

摘要 : 化学气相沉积(Chemical vapor deposition,CVD)金刚石薄膜通常是一种表面粗糙的多晶薄膜,其摩擦系数相对于光滑金刚石明显偏高,这制约着其在摩擦学领域的应用.在综合分析近年来该领域研究的基础上,总结了CVD金刚石薄膜摩擦学性能的主要影响因素,并从降... 展开

关键词 : 金刚石薄膜摩擦学性能纳米金刚石薄膜掺杂类金刚石薄膜

5. 金刚石薄膜场致发射材料的特性与应用

[期刊] 林志贤郭太良《龙岩学院学报》 2005年6期共3页

摘要 : 主要论述金刚石薄膜场致发射材料的性能,包括了多晶金刚石薄膜、类金刚石薄膜(DLC)、纳米结构金刚石薄膜、用酸处理后的金刚石薄膜等的性能,给出了几种典型的金刚石薄膜场致发射阴极结构.

关键词 : 场致发射金刚石薄膜类金刚石薄膜阴极结构

6. 掺杂CVD金刚石薄膜的应力分析 OA 北大核心 CSCD CSTPCD

[期刊] 李荣斌《物理学报》 2007年6期共7页

摘要 : 在不同实验条件下,用微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)技术在Si基体上制备了S掺杂和B-S共掺杂CVD金刚石薄膜,利用X射线衍射仪和拉曼光谱仪研究掺杂对CVD金刚石薄膜的应力影响.研究结果发现,随着S掺杂浓度的增加,薄膜中sp2杂化碳含量和缺陷增多,CVD金刚... 展开

关键词 : 金刚石薄膜掺杂应力

7. 915MHz高功率MPCVD装置制备大面积高品质金刚石膜 OA 北大核心 CSTPCD

[期刊] 李义锋郭辉孙振路唐伟忠姜龙葛新岗张雅淋安晓明刘晓晨何奇宇张平伟《人工晶体学报》 2019年7期共6页

摘要 : 采用自行研制的915 MHz/75 kW高功率微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)装置,在输入功率60 kW,沉积气压20 kPa的条件下制备了直径5英寸的大面积自支撑金刚石膜,并对金刚石膜的厚度,热导率,线膨胀系数,结晶质量,光学透过率等参数进行了表征.实验结果表明... 展开

关键词 : 915 MHz MPCVD 金刚石薄膜

8. HFCVD法沉积金刚石薄膜中热丝优化方法 OA 北大核心 CSCD CSTPCD

[期刊] 宋雪梅王波张兴旺张生俊陈光华严辉《人工晶体学报》 2000年3期共6页

摘要 : 本文探讨了在HFCVD(hot filament chemical vapor deposition)沉积金刚石薄膜中热丝数量、位置等几何参数对温度场和辐射场的影响.利用系统热传递模型和计算机辅助的数值解方法得到了该方法沉积大面积金刚石薄膜中衬底表面温度分布和热辐射能量密度分... 展开

关键词 : 金刚石薄膜 CVD 热丝

9. 金刚石薄膜的快速沉积及成膜研究 OA CSCD

[期刊] 阎震李荣志《化工学报》 1991年5期共6页

关键词 : 金刚石薄膜沉积成膜

10. C60膜上金刚石的成核与生长形貌研究 OA 北大核心 CSCD CSTPCD

[期刊] 刘波王豪阮昊干福熹《人工晶体学报》 2002年2期共5页

摘要 : 本文研究了HFCVD系统中覆盖有C60膜的Si(100)衬底上金刚石的成核与形貌特征.结果表明,C60能大幅度提高金刚石成核密度;C60氢化预处理能大幅度促进金刚石成核,但要合理控制CH4的浓度和预处理时间;随衬底温度的升高,金刚石晶粒由球状变为菜花状聚晶.

关键词 : C60 金刚石薄膜成核