中国科学技术信息研究所--国家工程技术数字图书馆

1. 低驱动电压电容式RF MEMS开关结构设计优化 北大核心 CSTPCD

[期刊] 高杨刘佳白竹川刘婷婷陈营端《微纳电子技术》 2009年3期共6页

摘要 : RF MEMS开关将成为微波、高频信号控制的关键器件.针对其驱动电压过高,不能满足现代通信系统低电压的要求,推导了电容式RF MEMS开关驱动电压的理论公式;基于降低开关柔顺结构的弹性系数、驱动电极上极板与可变电容上极板分离的思路,优化设计了三种具有... 展开

关键词 : 微电子机械系统射频微电子机械系统开关机电耦合Ware软件

2. 射频微电子机械系统的发展与展望

[期刊] 袁明文《半导体情报》 2001年4期共9页

摘要 : 介绍了射频微电子机械系统(RF MEMS)的最新进展、研究内容及应用前景.该系统装置包括开关、继电器、电容器、电感器、滤波器及微波和毫米波元件.

关键词 : 射频微电子机械系统网络

3. 航天器微型化的新突破──微电子机械系统

[期刊] 朱毅麟《中国航天》 1996年10期共4页

摘要 : 航天器微型化的新突破──微电子机械系统朱毅麟近年来，由于微电子技术的迅速发展，航天器使用的电子部件和系统早已告别了分立元器件的时代，用上了集成电路，甚至大规模集成电路。空间电子系统不仅实现了小型化、微型化，而且正在向着商业化迈进。... 展开

关键词 : 微电子机械系统航天器

4. 热膨胀驱动型微阀的设计与制备 北大核心 CSCD CSTPCD

[期刊] 吴元庆姚素英《传感器与微系统》 2012年10期共3页

摘要 : 利用IntelliSuite软件对热膨胀驱动微阀进行结构分析设计,讨论了微加热器结构等因素对于微阀的影响.利用SU-8胶成型工艺制备了聚二甲基硅氧烷(PDMS)微阀所需要的模具.热膨胀驱动微阀的制备过程分为:薄膜微加热器的金属淀积、阀腔的制备、弹性薄膜的制... 展开

关键词 : 微阀键合微电子机械系统

5. 快速发展的微电子机械系统技术

[期刊] 邝心湖《电子与信息化》 1996年3期共3页

关键词 : 微电子机械系统 MEMS 应用

6. 微电子系统光开关

[期刊] 刘浪《科技创新导报》 2009年12期共2页

摘要 : 本文以光开关为切入点叙述了微电子机械系统技术的特点和优点,井介绍了几种新近开发的光开关实例.

关键词 : 微电子机械系统光开关

7. 浅谈微电子机械系统技术相关研究

[期刊] 宋健《消费电子》 2014年24期共1页

摘要 : 微电子机械系统技术的特点是可使制品微型化、集成化并以硅作为加工材料。该技术可分为体微机械加工、表面微机械加工、金属微机械加工和复合微机械加工四类。所采用的基础技术主要有：腐蚀技术、硅键合技术、多层无应力薄膜沉积技术、牺牲层技术、LI... 展开

关键词 : 微电子机械系统研究综述

8. 微机电系统中热分析的几个问题

[期刊] 贾建援王志荣《电子机械工程》 2000年1期共1页

关键词 : 微电子机械系统微传热

9. 微型材料的拉伸测试方法研究 北大核心 CSCD

[期刊] 张泰华杨业敏赵亚溥余同希孙庆平《机械强度》 2001年4期共7页

摘要 : 微电子机械系统技术的迅速崛起,推动了微型材料拉伸测试方法的发展.文中列举几种典型的微型材料拉伸实验方法,具体说明其驱动方式、力和位移测试原理,并介绍实验中的难点,如试样加工、夹持和对中等方法.并进一步分析能满足未来发展需求的拉伸测试原理.

关键词 : 微电子机械系统微型材料拉伸

10. 高校微机电系统加工实验室的管理与运行 北大核心 CSTPCD

[期刊] 王胜强李冬玲尚正国贺学锋《实验技术与管理》 2010年11期共6页

摘要 : 微加工超净实验室是微机电系统(micro-electro-mechanical systems,MEMS)研究的基础条件.超净实验室涉及多种大型微加工设备和相应的纯水、高纯气体、空气净化及空调等辅助系统,其管理显得十分重要.结合重庆大学微机电系统加工实验室,对其现场管理、保... 展开

关键词 : 微电子机械系统超净间管理