中国科学技术信息研究所--国家工程技术数字图书馆

1. 一种新型微机械陀螺的研究 OA CSCD CSTPCD

[期刊] 熊斌黄小振王跃林王渭源《高技术通讯》 2002年9期共4页

摘要 : 设计了一种检测模态和驱动模态具有相近品种因子的微机械陀螺.这种我们称之为栅型结构的陀螺由悬空弹簧将具有栅条的检测质量块与衬底相联.计算结果表明,这种器件在大气压条件下其驱动模态和检测模态的品质因子几乎同为140.同时,计算结果还表明可以获... 展开

关键词 : 硅微机械陀螺微机械加工技术

2. 微机械加工技术发展概况(二) 北大核心 CSCD

[期刊] 鲍敏杭《仪表技术与传感器》 1998年6期共2页

摘要 : 微机械加工技术发展概况（二）鲍敏杭复旦大学电子工程系，传感技术国家实验室上海市２００２３３７表面平整化技术表面平整化技术是为大规模集成电路开发的一种工艺技术。它是利用化学机械抛光方法将因金属化加工而变得起伏的硅片表面变得平整，为... 展开

关键词 : 微机械微机械加工技术表面平整化

[期刊] 王仁鑫《中国航班》 2020年3期共1页

摘要 : 近年来我国在微机械加工技术取得了突破性的进展,微机械加工技术是一项新兴技术,它在人们的生活和工作中发挥了不可或缺的作用,受到了社会的广泛关注。本文首先从 LIGA 技术、微放电加工技术、腐蚀技术、硅键合技术等四个方面对微机械加工的基本技术进... 展开

关键词 : 微机械加工微机械加工技术传感器应用

4. 微机械加工技术及其产业化

[期刊] 鲍敏杭吴宪平《国际学术动态》 1990年2期共4页

关键词 : 微机械加工技术产业化

5. 硅基微机械加工技术

[期刊] 于周顺泽《电子世界》 2016年23期共1页

摘要 : 就微电子机械系统而言,硅基微机械加工技术是其重要的实现技术之一.这种技术的应用是微电子机械系统形成良好性能的重要保障.本文从硅基微机械加工技术的种类入手,对这种加工技术的应用进行分析和研究.

关键词 : 硅基微机械加工技术应用

6. 微机械技术的兴起及其制造 OA

[期刊] 吴敏镜《机械工艺师》 1998年7期共1页

关键词 : 微机械技术微机械加工技术技术装置

7. 微机械及其制造加工技术 CHSSCD

[期刊] 雷鑫《经济技术协作信息》 2016年10期共2页

摘要 : 微机械是利用半导体技术为原理在微米和纳米水平上加工研制的微小机械。具有体积小，受外界影响小的特点。能够完成传统机械无法完成的任务，且损耗非常小。作为一项适用性的技术，对越来越多的领域和学科产生了深刻的影响，在许多方面得到了广泛的应... 展开

关键词 : 微机械加工原理加工技术

8. 微机电系统的加工技术及其研究进展

[期刊] 黄良甫贾付云《真空与低温》 2003年1期共5页

摘要 : 简要介绍微机电系统中的微机械加工技术,主要包括硅表面微加工技术、硅体微加工技术、光刻及电铸和复制技术(LIGA)、准LIGA技术和快速成型技术等,并综述了这些技术的研究进展情况.

关键词 : 微机电系统微机械加工技术微机械

9. 微细加工技术的应用和趋势

[期刊] 王凌杰徐钊《网友世界·云教育》 2013年1期共2页

摘要 : 　　先进制造工艺是先进制造技术的核心和基础，一个国家的制造工艺的水平的高低，在很大程度上决定了其制造业在国际市场的竞争实力。本文主要介绍先进制造工艺中的微细加工技术在现在各个方面的应用及发展。

关键词 : 微机械微机械加工技术超微机械加工光刻加工

10. 微细加工技术的应用和趋势

[期刊] 王凌杰徐钊《数码世界》 2016年1期共1页

摘要 : 先进制造工艺是先进制造技术的核心和基础，一个国家的制造工艺的水平的高低，在很大程度上决定了其制造业在国际市场的竞争实力。本文主要介绍先进制造工艺中的微细加工技术在现在各个方面的应用及发展。

关键词 : 微机械微机械加工技术超微机械加工光刻加工