主管单位：
中国机械工业集团有限公司沈阳真空技术研究所有限公司
主办单位：
中国机械工业集团有限公司沈阳真空技术研究所有限公司
国际刊号：
1002-0322
国内刊号：
21-1174/TB
出版周期：
双月刊
地 址：
沈阳市沈河区万柳塘路2号
邮政编码：
110042
电 话：
024-24110136
电子邮箱：
zkzk1964@126.com
| 序号 | 标题 | 作者 | 起始页 | 操作 |
|---|---|---|---|---|
| 1 | 多元稀土掺杂YSZ热障涂层的热物理和热循环性能研究 | 黄光宏, 甄真, 王鑫... | 1 | |
| 2 | 等离子增强磁控溅射制备TiCr基纳米复合涂层的显微组织和性能 | 李灿民, 董中林, 夏正卫... | 10 | |
| 3 | 卷绕蒸镀设备偏置线圈设计及参数分析 | 尹翔, 陈世斌, 张艳鹏... | 16 | |
| 4 | 大尺寸方形载板MOCVD反应腔分气和薄膜沉积过程影响因素的数值模拟研究 | 于大洋, 吴改 | 22 | |
| 5 | TiAlN硬质薄膜的制备工艺及结构性能研究进展 | 徐照英, 张腾飞, 王锦标... | 29 | |
| 6 | 温度对石墨烯真空标准漏孔漏率的影响研究 | 刘楚彦, 刘招贤, 任国华... | 37 | |
| 7 | 一种空间微型质谱仪的芯片级离子源研究 | 窦仁超, 崔寓淏, 喻新发... | 42 | |
| 8 | 高精度电子束偏转系统优化建立与仿真研究 | 贾子朝, 郭志伟, 高学林 | 47 | |
| 9 | 一种小型化过程检测质谱仪的设计与研制 | 沈辉, 于佳佳, 侍尉... | 53 | |
| 10 | 车辆试验舱低气压动态试验系统设计 | 刘中博 | 58 |
