主办单位：
四川省真空学会;国投南光有限公司
出版周期：
半年刊
地 址：
成都市第109信箱207分箱
邮政编码：
610062
电 话：
028-2905412
| 序号 | 标题 | 作者 | 起始页 | 操作 |
|---|---|---|---|---|
| 1 | 国内外真空镀膜技术及设备的基本现状及国内真空镀膜设备发展的几点建议 | 靳毅 | 1 | |
| 2 | 高真空校准系统测量标准不确定度的评定 | 宋红 | 9 | |
| 3 | 真空设备检修三要素 | 吴根发, 梁智岷, 张文丽... | 13 | |
| 4 | HL-2A真空抽气、检漏系统研制及初步调试 | 曹曾, 徐云仙, 崔成和... | 18 | |
| 5 | HL-2A工程调试的边缘等离子体诊断 | 洪文玉, 严龙文, 钱俊... | 27 | |
| 6 | HL-2A装置偏滤器靶板上探针阵列和主真空室活动探针的设计加工和诊断 | 洪文玉, 严龙文, 钱俊 | 32 | |
| 7 | 纳米电子／光电子器件概述 | 程开富 | 38 | |
| 8 | 国外PtSi-SBIRFPA的技术进展及市场前景 | 程开富 | 45 | |
| 9 | 《上海市、四川省真空学会真空技术西部开发研讨会》会议纪要 | 56 |
