摘要 : Одностадийным методом ВЧ-катодного распыления керамической мишени стехиометрического состава Sr_(0.5)Ba_(0.5)Nb_2O_6 в кислородной ат... 展开 Одностадийным методом ВЧ-катодного распыления керамической мишени стехиометрического состава Sr_(0.5)Ba_(0.5)Nb_2O_6 в кислородной атмосфере на подложки MgO(001) в различных условиях (при различных величинах внешнего поля смещения) синтезированы пленки ниобата бария-стронция. Показано, что наличие смещающего напряжения в зависимости от его полярности приводит либо к увеличению потока структурообразующих элементов к подложке, либо к снижению и, как следствие, - к изменению скорости роста пленок без ухудшения морфологии поверхности, структурного совершенства и появления примесных фаз. Обсуждаются причины выявленных закономерностей. 收起