摘要 : Предмет исследования. Квантово-каскадные лазеры с селективным кольцевым резонатором. Цель работы. Достижение стабильной одн... 展开 Предмет исследования. Квантово-каскадные лазеры с селективным кольцевым резонатором. Цель работы. Достижение стабильной одночастотной генерации в квантово-каскадных лазерах с селективным кольцевым резонатором с поверхностным выводом излучения через дифракционную решётку, сформированную методом прямой ионной литографии. Метод. Реализация селекции продольных мод шепчущей галереи за счёт формирования дифракционной решётки второго порядка в слоях верхней обкладки волновода на основе InP методом прямой ионной литографии. Основные результаты. Продемонстрирована возможность реализации стабильной одночастотной генерации в квантово-каскадных лазерах с кольцевым резонатором с дифракционной решёткой, сформированной методом прямой ионной литографии. Увеличение глубины травления штрихов дифракционной решётки до 2,8 мкм позволило реализовать стабильную одночастотную генерацию при температуре 83 К. Одночастотная генерация наблюдается на длине волны 7,45 мкм с плотностью порогового тока, равной приблизительно 2 кА/см~2. Максимальный коэффициент подавления боковых мод составил 25 дБ. Практическая значимость. Одночастотные кольцевые квантово-каскадные лазеры с поверхностным выводом излучения перспективны для создания компактных газовых сенсоров, в которых монолитно интегрированы на одном кристалле лазер и фото детектор среднего инфракрасного спектрального диапазона. 收起