摘要: 等离子体显示器(PDP)是二十一世纪前景非常广阔的显示器件.其中的介质保护膜对PDP的工作特性,如工作寿命、工作电压的稳定性、着火电压等都有重要的影响.为了实现离子束辅助沉积大面积的MgO薄膜,我们在比较选择各种方法的基础上,专门为这一任务设计了... 展开 等离子体显示器(PDP)是二十一世纪前景非常广阔的显示器件.其中的介质保护膜对PDP的工作特性,如工作寿命、工作电压的稳定性、着火电压等都有重要的影响.为了实现离子束辅助沉积大面积的MgO薄膜,我们在比较选择各种方法的基础上,专门为这一任务设计了一台宽束的冷阴极潘宁离子源. 我们首先对冷阴极潘宁离子源的原理进行了深入的探讨,比如PIG放电特性、分类、低气压高磁场模式放电机理以及溅射效应等,然后把主要的工作放在了离子源设计调试上,其中包括: (1 )矩形放电室的设计;(2)阳极的选材和结构设计;(3)阴极的选材;(4)磁场和磁路的设计;(5)引出系统的设计和调试;(6)通气方案和冷却系统的设计.最后,我们利用这台离子源进行了实验,得到了初步的实验结果,离子源的束流密度在距离130mm处达到10 μA/cm<'2>,出口尺寸为30mm×300mm. 收起