[学位论文]
  • Pei, Jun.
  • Stanford University.
ISBN 9780599240490
作者 Pei, Jun.   授予学位单位 Stanford University.  
导师 Khuri-Yakub, Butrus T., 学位 Ph.D.
学科 Engineering   Electronics and Electrical.   国籍 US
页码/总页数 153 p. / 153 出版年 1999
中图分类号 TN
关键词 Lamb wave   Nondestructive   Process control   Semiconductor   Sensors   Thin film  
相关作者
相关关键词