ISBN | 9780599240490 | ||
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作者 | Pei, Jun. | 授予学位单位 | Stanford University. |
导师 | Khuri-Yakub, Butrus T., | 学位 | Ph.D. |
学科 | Engineering Electronics and Electrical. | 国籍 | US |
页码/总页数 | 153 p. / 153 | 出版年 | 1999 |
中图分类号 | TN | ||
关键词 | Lamb wave Nondestructive Process control Semiconductor Sensors Thin film |