摘要 : 光刻是芯片制造的核心步骤,光刻机与光刻胶在光刻过程中是相互依存、缺一不可的.然而,作为与光刻机同等重要的光刻胶得到的关注较少.一方面是因为鲜有新闻媒体报道光刻胶,民众看到的大部分是与光刻机相关的内容,另一方面是因为国内从事光刻胶相关产业... 展开 光刻是芯片制造的核心步骤,光刻机与光刻胶在光刻过程中是相互依存、缺一不可的.然而,作为与光刻机同等重要的光刻胶得到的关注较少.一方面是因为鲜有新闻媒体报道光刻胶,民众看到的大部分是与光刻机相关的内容,另一方面是因为国内从事光刻胶相关产业研发的公司较少.目前,国内中低端的印刷电路板用光刻胶已经基本国产化,而用于芯片制造的半导体用光刻胶几乎完全依赖进口.摆脱国外对芯片制造行业的垄断,高端光刻胶国产化也势在必行.目前,最高端的半导体芯片制造使用的是极紫外光源,使用的也是对应的极紫外光刻胶.本文主要聚焦最新极紫外光刻技术中的光刻胶材料研究现状,分别从有机材料以及有机无机杂化材料两个方面进行了归纳总结,希望能为国内新型光刻胶的研发与产业发展提供有意义的参考. 收起