摘要 : <正> 一、前言功函数是表面现象研究中一个重要的参数,目前已有多种测量方法〔1〕。但是要在超高真空条件下,对样品表面进行具有相当空间分辨率的功函数测量,仍是一项十分困难的工作。本文将介绍一种利用二次电子低能峰上升沿(以下简称上升沿)和功函数... 展开 <正> 一、前言功函数是表面现象研究中一个重要的参数,目前已有多种测量方法〔1〕。但是要在超高真空条件下,对样品表面进行具有相当空间分辨率的功函数测量,仍是一项十分困难的工作。本文将介绍一种利用二次电子低能峰上升沿(以下简称上升沿)和功函数有关的原理来测量功函数的方法。用现成的俄歇谱仪不作改动或略作改动即可进行测量。如果俄歇谱仪具有电子束扫描功能,则还能达到一定的空间分辨率〔2〕。对于扫描电镜,如果配备上电子能量分析器,也能同样实现功函数测量〔3〕。 收起