摘要 : 提出了一种对角线长度小于20μm的硬度压痕表面积共聚焦测量方法.激光扫描共聚焦显微镜以0.1μm的间隔逐层对试样的压痕进行扫描测量,对全部数据集合的包络拟合获得压痕的三维数据.旋转平面法与法向量特征相结合精确提取压痕,通过三角网格构造算法得到压... 展开
| 作者 | 张凯林 石伟 程银宝 王中宇 |
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| 作者单位 | |
| 英文名称 | Confocal measurement for surface area of hardness indentation |
| 期刊名称 | 《应用光学》 |
| 期刊英文名称 | 《Journal of Applied Optics》 |
| 页码/总页数 | 1222-1229 / 8 |
| 语种/中图分类号 | 汉语 / TN247 TB938.2 |
| 关键词 | 压痕 表面积 硬度 共聚焦 测量 |
| DOI | 10.5768/JAO202041.0603001 |
| 基金项目 | 工信部民机专项科研(MJZ-2018-J-70);四川省科技计划项目(2019YFSY0039) |
| 收录情况 | BDHX CSCD CSTPCD |
| 机标主题词 / 分类号 | 测量方法;表面积;压痕 / TB22;O18;TB303 |
