摘要 : 针对传统色散透镜的色散线性度很难保证为绝对线性,测量范围很窄的问题,且为了尽量减小球差尤其是对测量影响最大的轴向球差,提出一种将二元光学透镜引入到光谱共聚焦微小间距测量的方法.该方法中二元光学透镜的色散只与入射光的波长有关,且严格与入射... 展开
| 作者 | 王思沫 李凡星 彭伏平 杜佳林 严伟 |
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| 作者单位 | |
| 英文名称 | Microspacing Measurement Based on Spectral Focusing Characteristics of Binary Optical Lens |
| 期刊名称 | 《光学学报》 |
| 期刊英文名称 | 《Acta Optica Sinica》 |
| 页码/总页数 | 93-99 / 7 |
| 语种/中图分类号 | 汉语 / O433.1 |
| 关键词 | 测量 光谱 共聚焦 二元光学透镜 轴向色散 测距 |
| DOI | 10.3788/AOS202040.0212003 |
| 基金项目 | 微电子装备四川青年科技创新团队(J17S006)、中科院装备项目(YA18K010) |
| 收录情况 | BDHX CSCD CSTPCD |
| 机标主题词 / 分类号 | 二元光学透镜;光谱;测量 / TB85;O433.5;TB22 |
