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国家工程技术图书馆
2022年11月29日
摘要 : 通过先后调整溅射沉积时间、溅射功率以及溅射气压等镀膜参数,然后结合所镀样品的反射牢测量,分析了镀膜参数对铝膜反射率的影响;通过调整不同的离子柬清洗时间,结合所镀样品的太阳光谱反射率测量以及附着力测试,研究了离子束清洗对铝膜性能的影响.结... 展开 通过先后调整溅射沉积时间、溅射功率以及溅射气压等镀膜参数,然后结合所镀样品的反射牢测量,分析了镀膜参数对铝膜反射率的影响;通过调整不同的离子柬清洗时间,结合所镀样品的太阳光谱反射率测量以及附着力测试,研究了离子束清洗对铝膜性能的影响.结果表明,在这些影响因素中离子束清洗对铝膜性能的影响很大. 收起
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