摘要 : Анализируется влияние легирования вольфрамом поликристаллических пленок диоксида ванадия, полученных золь-гель-методом, на... 展开 Анализируется влияние легирования вольфрамом поликристаллических пленок диоксида ванадия, полученных золь-гель-методом, на температурную зависимость сопротивления при фазовом переходе металл-полупроводник. Экспериментальные гистерезисы сопротивления показывают, что с ростом степени легирования пленок снижается температура фазового перехода, гистерезис сильнее растягивается по температуре, а величина скачка сопротивления падает. Построены функции распределения коэрцитивных температур и проведено их сравнение с гистограммами распределения размеров кристаллических зерен в чистых и легированных пленках. На основе этого анализа сделан вывод, что введение примеси вольфрама в диоксид ванадия не влияет (по крайней мере, до 6 ат. %) на процесс формирования структуры поликристаллических пленок. Изменение параметров фазового перехода при легировании вызвано, скорее всего, ростом количества дефектов донорного типа и большим разбросом по концентрации примеси в отдельных зернах. 收起