摘要 : フッ素を200ppm添加した石英ガラスをコア，およびフッ素を2000ppm添加したクラッドからなる深紫外光伝送用の光ファイバを開発した。 低温および低速度の紡糸条件で作製した光ファイバは，水素処理後のArF エキシマレーザ光(193nm)に対し60％/mの透過... 展开 フッ素を200ppm添加した石英ガラスをコア，およびフッ素を2000ppm添加したクラッドからなる深紫外光伝送用の光ファイバを開発した。 低温および低速度の紡糸条件で作製した光ファイバは，水素処理後のArF エキシマレーザ光(193nm)に対し60％/mの透過率を示した。 また10{sup}5 shotのArFレーザ照射試験の結果，得られた光ファイバは透過率低下が少ない安定した特性を有することも明らかになった。 開発したファイバのDUV光領域での伝送損失は，紡糸工程中に発生するODC(I)欠陥によりバルクガラスよりも増加していることが示唆されており，紡糸工程の最適化によりさらに透過率が向上することが期待される。 收起