摘要 : 本文では,液晶ディスプレイなどの多層配線構造における配線間寄生容量の近似式を導出するための容量モデル化手法を考察する。特に,二配線からなる基本的な構造である配線交差構造と並行配線構造に対する容量モデル化手法に注目し,導出過程が複雑な前... 展开 本文では,液晶ディスプレイなどの多層配線構造における配線間寄生容量の近似式を導出するための容量モデル化手法を考察する。特に,二配線からなる基本的な構造である配線交差構造と並行配線構造に対する容量モデル化手法に注目し,導出過程が複雑な前者の配線交差構造については,配線交差部を平行平板等の基本的な構造の領域に分割し,各領域の容量値を,理論式および二次元フィールドソルバの適用結果に対する回帰操作により導出した近似式を用いて計算し,これらの領域の容量値を加算して全体の寄生容量近似式を得る。 これらの配線構造に対して得られた近似式の精度を評価するため,配線交差部を三次元フィールドソルバを用いて解析して比較したところ,相対誤差が5%以内であることを確認した。 收起