摘要 : 半導体製造工場では，生産効率を向上させるため，長期間，装置を稼動させている．装置の連続的な稼動は，装置内部の部品正磨耗性の故障を引き起こし，製造ラインを突発的に止めてしまう．このようなリスクを避けるため，現場では，装置のメンテナン... 展开 半導体製造工場では，生産効率を向上させるため，長期間，装置を稼動させている．装置の連続的な稼動は，装置内部の部品正磨耗性の故障を引き起こし，製造ラインを突発的に止めてしまう．このようなリスクを避けるため，現場では，装置のメンテナンスを取り入れている．しかし，装置が故障するタイミングを正確に予知するのは難しく，メンテナンスの間隔は最適でない．本研究では，故障の予兆をとらえ，容易にデータを取得できる動作音を診断材料とし，実験データと実フィールドでのデータから，装置を止めずに故障を予知するシステムの開発を行う． 收起