摘要 : Выполнена оценка различных способов настройки интерференционных полос. Рассмотрены особенности двулучевой голографической... 展开 Выполнена оценка различных способов настройки интерференционных полос. Рассмотрены особенности двулучевой голографической регистрации и восстановления исходного и возмущенного состояний диффузно отражающей поверхности. Проведена количественная оценка ошибки измерения: отклонение одного из опорных пучков на 10~(-5) рад приведет к набегу объектной волны на 0,22 доли интерференционной полосы; погрешность определения фазы интерференционных полос δφ = 2π·0,22. Интерферометрия сдвига по сравнению с двулучевой интерферометрией позволяет использовать один опорный пучок при прочих равных условиях, что на два порядка повышает точность измерений: δφ =2π·0,22·10~(-2). Проанализирована разность фаз лучей на выходе интерферометра поперечного сдвига (интерферометр Жамена), который позволяет определить диапазон измерений величины вектора смещения. Определены максимальная δd = 1,5 мм и минимальная 0,01 мкм величины измеряемого смещения. 收起