摘要 : Исследована высокотемпературная диффузия акцепторной примеси бериллия (Be) в объемный монокристаллический нитрид апюминия (A... 展开 Исследована высокотемпературная диффузия акцепторной примеси бериллия (Be) в объемный монокристаллический нитрид апюминия (A1N). Показано, что введение Be приводит к появлению зеленой люминесценции A1N, стабильной при комнатной температуре, наблюдаемой по всей толщине образца. Методом люминесцентного анализа показано, что наиболее эффективно процесс диффузии Be реализуется в температурном диапазоне от 1800 до 2100°С и характеризуется чрезвычайно высокими коэффициентами диффузии D= 10_(-7) и 10~(-6)см~2/с соответственно. Показано, что продолжительный процесс диффузии (t > 1 ч) при температуре 2100°С приводит к концентрационному тушению люминесценции приповерхностных слоев A1N толщиной ≈ 80мкм, что позволяет оценить концентрацию примеси бериллия в приповерхностном слое ~ 10~(19) см~(-3). 收起