摘要 : Zur effizienten Steuerung der Anlagen in der Halbleiterfertigung werden zunehmen ERP-Systeme eingesetzt. Deswegen wird zunachst der Stand der Technik einschliesslich moglicher zukunftiger Entwicklungen diskutiert. Als Folge wird e... 展开 Zur effizienten Steuerung der Anlagen in der Halbleiterfertigung werden zunehmen ERP-Systeme eingesetzt. Deswegen wird zunachst der Stand der Technik einschliesslich moglicher zukunftiger Entwicklungen diskutiert. Als Folge wird ein neuartiger Einsatz der SAP NetWeaver Plattform zur An-steuerung von Halbleiter Fertigungsautomaten vorgeschlagen und seine Evaluierung sowie Erstellung eines Prototyps wird beschrieben. 收起