摘要: 柔性显示已成为下一代显示技术的研究热点,不锈钢材料将成为柔性大尺寸显示器衬底的主要材料之一,而化学机械抛光(CMP)技术将是实现不锈钢材料表面超光滑、无损伤、最实用加工技术之一.本文采用正交实验,研究了pH值、磨粒粒径、分散剂、氧化剂、磨粒含... 展开
| 作者 | 秦洪权 王永胜 李庆 陈佳鹏 刘振辉 苏建修 | ||
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| 作者单位 | |||
| 文集名称 | 2016年中国（国际）光整加工技术及表面工程学术会议暨2016年中国光整加工技术产学研协调发展论坛论文集 | ||
| 出版年 | 2016 | ||
| 会议名称 | 2016年中国（国际）光整加工技术及表面工程学术会议暨2016年中国光整加工技术产学研协调发展论坛 | ||
| 组织单位 | 中国机械工程学会 | ||
| 页码 | 61-62 | 开始页/总页数 | 00000061 / 2 |
| 会议日期/会议地点 | 2016-08 / 辽宁鞍山 | 会议年 | 2016 |
| 中图分类号 | TG580.692 | ||
| 关键词 | 不锈钢片 化学机械抛光 抛光液 材料去除率 表面粗糙度 | ||
| 机标主题词 | 抛光液;不锈钢;化学机械抛光 | ||
| 机标分类号 | TG175;TF64;TG17 | ||
| 馆藏号 | H077970 | ||
