摘要: 提出了3种步距规校准的新方法。应用光切显微镜及白光干涉的测量原理实现步距规工作面的精确定位,结合中国计量科学研究院新研制的2m比长仪的机械性能和高精度的测长系统实现步距规的校准。给出了初步实验结果,并进行了方案探讨。采用光斑定位的方法步... 展开
| 作者 | WANG Wei-chen 王蔚晨 DING Chen 丁晨 SUN Shuang-hua 孙双花 GAO Hong-tang 高宏堂 YE Xiao-you 叶孝佑 | ||
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| 作者单位 | |||
| 文集名称 | 2012年全国几何量精密测量技术学术交流会论文集 | ||
| 出版年 | 2012 | ||
| 会议名称 | 2012年全国几何量精密测量技术学术交流会 | ||
| 组织单位 | 中国计量测试学会 | ||
| 页码 | 21-23 | 开始页/总页数 | 00000021 / 3 |
| 会议日期/会议地点 | 2012-10 / 北京 | 会议年 | 2012 |
| 中图分类号 | TH711:TH706 | ||
| 关键词 | 步距规 校准方法 光斑定位 性能评价 | ||
| 机标主题词 | 步距规;校准;光斑定位 | ||
| 机标分类号 | TG8;TB9;TN94 | ||
| 馆藏号 | H071202 | ||
