尊敬的各位读者：
根据当前疫情防控要求，我馆部分原文传递服务可能会有延期，无法在24小时内提供，给您带来的不便敬请谅解！
国家工程技术图书馆
2022年11月29日
摘要: 本文提出了一种新的基于位移台移动方式的扫描电子显微镜的成像方法。在完成了激光干涉测量技术与扫描成像结合基础上，建立计量型扫描电子显微镜系统。使得扫描电子显微镜图像中每个像素点都具有精确到纳米尺度的位置坐标数值。在扫描电子显微镜中引... 展开 本文提出了一种新的基于位移台移动方式的扫描电子显微镜的成像方法。在完成了激光干涉测量技术与扫描成像结合基础上，建立计量型扫描电子显微镜系统。使得扫描电子显微镜图像中每个像素点都具有精确到纳米尺度的位置坐标数值。在扫描电子显微镜中引入可溯源的计量系统，为开展利用扫描电子显微镜进行长度计量奠定基础。 收起
系统维护，暂停服务。
根据《著作权法》“合理使用”原则，您当前的文献传递请求已超限。
如您有科学或教学任务亟需，需我馆提供文献传递服务，可由单位单位签署《图书馆馆际互借协议》说明情况，我馆将根据馆际互借的原则，为您提供更优质的服务。
《图书馆馆际互借协议》扫描件请发送至service@istic.ac.cn邮箱，《图书馆馆际互借协议》模板详见附件。
根据《著作权法》规定， NETL仅提供少量文献资源原文复制件，用户在使用过程中须遵循“合理使用”原则。
您当日的文献传递请求已超限。
