尊敬的各位读者：
根据当前疫情防控要求，我馆部分原文传递服务可能会有延期，无法在24小时内提供，给您带来的不便敬请谅解！
国家工程技术图书馆
2022年11月29日
摘要: 本文采用共溅射方法制备CIS和CIGS薄膜，分别利用XRD，SEM，EDS对这一新方法制备的薄膜的微观晶体结构，表面形貌和薄膜成分进行分析。结果发现，通过CuIn和Se两靶共溅射方法可以制备出具有单一黄铜矿相结构的CIS薄膜，且改变衬底和退火温度，能够进一... 展开 本文采用共溅射方法制备CIS和CIGS薄膜，分别利用XRD，SEM，EDS对这一新方法制备的薄膜的微观晶体结构，表面形貌和薄膜成分进行分析。结果发现，通过CuIn和Se两靶共溅射方法可以制备出具有单一黄铜矿相结构的CIS薄膜，且改变衬底和退火温度，能够进一步优化CIS薄膜的晶体结构和表面形貌；通过CuIn，CuGa和Se三靶共溅射方法可以制备出具有单一黄铜矿相结构，表面形貌良好，成分比例接近化学计量比的高质量CIGS薄膜，这为制备高效率的CIGS薄膜太阳能电池打下了牢固的基础。 收起
系统维护，暂停服务。
根据《著作权法》“合理使用”原则，您当前的文献传递请求已超限。
如您有科学或教学任务亟需，需我馆提供文献传递服务，可由单位单位签署《图书馆馆际互借协议》说明情况，我馆将根据馆际互借的原则，为您提供更优质的服务。
《图书馆馆际互借协议》扫描件请发送至service@istic.ac.cn邮箱，《图书馆馆际互借协议》模板详见附件。
根据《著作权法》规定， NETL仅提供少量文献资源原文复制件，用户在使用过程中须遵循“合理使用”原则。
您当日的文献传递请求已超限。
