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国家工程技术图书馆
2022年11月29日
摘要: 精密运动平台是一项通用关键技术。在长度计量中，对运动平台在直线运动中附加的旋转误差提出了较严格要求。为了研制出符合要求的运动平台，本文研究了气体静压轴承承载特性、直线导轨设计原则、三维运动台布局等问题，充分利用气浮导轨精密、低摩擦... 展开 精密运动平台是一项通用关键技术。在长度计量中，对运动平台在直线运动中附加的旋转误差提出了较严格要求。为了研制出符合要求的运动平台，本文研究了气体静压轴承承载特性、直线导轨设计原则、三维运动台布局等问题，充分利用气浮导轨精密、低摩擦的优点，完成了一个精密三维气浮台，实现三维全气浮结构和过质心驱动，保证50mm×50mm×2mm全行程内较小的旋转误差。测试结果表明，在X、Y、Z向驱动的情况下，工作台最人偏摆在0.82角秒左右，单轴最优偏摆在±0.04角秒之内，且重复性良好。该成果为计量应用提供了一个性能优良的三维位移平台。 收起
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