摘要: 随着社会经济的不断发展，能源危机已成为当今世界面临的巨大难题，氧化锌作为一种宽带隙半导体材料（室温下带隙宽度高达3.3eV），在太阳能电池领域作为ITO薄膜的代替品，成为透明导电薄膜的新宠，正引起人们日益广泛的关注。另外，由于氧化锌还具有... 展开 随着社会经济的不断发展，能源危机已成为当今世界面临的巨大难题，氧化锌作为一种宽带隙半导体材料（室温下带隙宽度高达3.3eV），在太阳能电池领域作为ITO薄膜的代替品，成为透明导电薄膜的新宠，正引起人们日益广泛的关注。另外，由于氧化锌还具有较高的激子束缚能（60meV），以及光电、压电、气敏特性等性质，ZnO薄膜还被用于制作非线性光学器件、紫外光探测器、压电器件、压敏器件、紫外发光器件、气敏传感器等领域。 本文利用电子束蒸发方法在普通玻璃片衬底上制备出了具有C轴择优取向的氧化锌掺铝（ZnO：Al）薄膜材料，分析了厚度、衬底温度、掺杂对电子束蒸发制备ZAO薄膜光学性能的影响，对ZAO进行热处理进一步改善薄膜的质量。并对电子束蒸镀用陶瓷靶材的制备做了初步的研究。采用X射线衍射谱、扫描电镜、荧光分光光度计等测量手段对样品的结构、光学特性进行了表征。 收起