摘要: 该文在金刚石合成研究的研究的经验基础上,对设备加以改进,采用热丝辅助等离子 体化学气相沉积+负偏压技术成功地制备了CN<,x>薄膜.结果表明,这一技术对制备高质量 的CN<,x>薄膜是一种行之有效的方法.着重研究了在CN<,x>薄膜制备过程中各种工艺参数( ... 展开 该文在金刚石合成研究的研究的经验基础上,对设备加以改进,采用热丝辅助等离子 体化学气相沉积+负偏压技术成功地制备了CN<,x>薄膜.结果表明,这一技术对制备高质量 的CN<,x>薄膜是一种行之有效的方法.着重研究了在CN<,x>薄膜制备过程中各种工艺参数( 射频功率、衬底负偏压、衬底温度以及氮气与甲烷流量比率等)对薄膜结构和特性的影响, 总结出采用该技术所必需的最佳工艺条件.探索研究了C<,60>有机溶液(C<,60>-吡啶、C<,60>-TCNQ)电荷转移体系;首次采用回流、蒸发的方法成功地制备出了C<,60>的PVP水溶液及C<,60>-PVP水溶性固体,并以其特性进行了研究和表征. 收起