[学位论文]
  • Johnstone, Robert W.
  • Simon Fraser University (Canada).
ISBN 9780494584958
作者 Johnstone, Robert W.   授予学位单位 Simon Fraser University (Canada).  
学位 Ph.D.
学科 Engineering   Mechanical.   国籍 CA
页码/总页数 193 p. / 193 出版年 2008
中图分类号 TH
关键词 Micromachining   Polymethylmethacrylate   Ultraviolet lithography