摘要 : 将科研成果“柔性压力传感器的制备、性能与机理研究”转化为材料专业的本科综合性实验。利用简易的刻蚀法制备电容式晶体管压力传感器,通过柔性聚对苯二甲酸乙二醇酯(PET)作为衬底、依次旋涂聚合物半导体、聚甲基丙烯酸甲酯绝缘层,使用掩膜版进行UVO表... 展开 将科研成果“柔性压力传感器的制备、性能与机理研究”转化为材料专业的本科综合性实验。利用简易的刻蚀法制备电容式晶体管压力传感器,通过柔性聚对苯二甲酸乙二醇酯(PET)作为衬底、依次旋涂聚合物半导体、聚甲基丙烯酸甲酯绝缘层,使用掩膜版进行UVO表面刻蚀得到100~400纳米深度的沟道,填充一层半导体后蒸镀栅极。使用半导体测试仪进行电学性能表征,得到器件迁移率、开关比等参数,引入不同压强后测试器件的压力灵敏度等参数。实验结果表明,晶体管型压力传感器对压力有显著的响应。以制备压力传感器为主线,内容涉及有机晶体管的制备、简单图案化、压力传感工作原理和物理参数的掌握,可作为一个基础性和研究性兼具的光电综合性新实验。实验主要面向材料物理专业大三年级的学生,培养学生思考、分析问题、解决问题能力的同时促进知识的创新和拓展。 收起