摘要 : 在新时代“新工科”教育背景下,贴近科技发展前沿,培养家国情怀,提高学生的专业实验水平和科技创新能力意义重大。从当前“卡脖子”的热点问题出发,开展与芯片加工相关的光刻实验。通过使用商用光刻胶,要求学生掌握光刻的理论知识和基本流程;在此基础上,利... 展开
| 作者 | 王哲哲 贾思仪 杨晨 冯卓宏 王丽丽 陈水源 |
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| 作者单位 | |
| 期刊名称 | 《实验室科学》 |
| 期刊英文名称 | 《Laboratory Science》 |
| 页码/总页数 | P.41-45 / 5 |
| 语种/中图分类号 | 汉语 / G642 |
| 关键词 | 新工科 综合实验设计 光刻 感光溶胶-凝胶 |
| DOI | 10.3969/j.issn.1672-4305.2024.05.009 |
| 基金项目 | 福建省教育教学研究重大项目(项目编号:FBJY20230287);2021年高等学校大学物理课程教学指导委员会华东地区工作委员会教学研究项目(项目编号:2021JZWHD04);福建师范大学碳中和研究院开放基金(项目编号:TZH2022-08);2021年福建师范大学课程思政示范课程建设项目(项目编号:K202101041)。 |
| 机标主题词 / 分类号 | 光致抗蚀剂;光腐蚀;试验 / TN405;TG172.63;TB461* |
