摘要 : 利用偏轴磁控溅射技术,在(001)LaAlO_(3)单晶衬底上构架了Pt/Ba_(0.6)Sr_(0.4)TiO_(3)(BST)/La_(0.5)Sr_(0.5)CoO_(3)(LSCO)铁电电容器,研究了BST薄膜的结构与形貌、介电、漏电和储能性能。结果表明:BST薄膜为外延结构生长,表面光滑致密,其均方根粗糙... 展开
作者 | 冀思雨 樊晓雨 曹以琳 高珺怡 杨帆 宋建民 张宪贵 |
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作者单位 | |
期刊名称 | 《华南师范大学学报(自然科学版)》 |
期刊英文名称 | 《Journal of South China Normal University(Natural Science Edition)》 |
页码/总页数 | P.54-59 / 6 |
语种/中图分类号 | 汉语 / O469 |
关键词 | Ba_(0.6)Sr_(0.4)TiO_(3) 铁电薄膜 介电 储能 |
DOI | 10.6054/j.jscnun.2024050 |
基金项目 | 教育部合作与教研专项(231102070271447);河北省高校基本科学研究项目(KY2024011,KY2023028);河北农业大学创新训练项目(2024306,2024314)。 |
收录情况 | BDHX CSTPCD |
机标主题词 / 分类号 | 储能;BST薄膜;比电容 / TK02;TL38 |