摘要 : 针对自由曲面测量问题,构建了一套高精度大量程激光差动共焦传感器.该传感器基于激光差动共焦原理,利用归一化单点定焦模型减小被测表面倾斜角度、反射率的影响,结合非等距分数阶累加预测算法预判焦点位置,实现快速跟踪定焦.将气浮导轨与PZT结合拓展轴... 展开
| 作者 | 李新月 王文彬 熊哲凤 李梦涵 徐可米 邱丽荣 |
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| 作者单位 | |
| 英文名称 | Laser differential confocal sensor for freeform surface measurement |
| 期刊名称 | 《光学技术》 |
| 期刊英文名称 | 《Optical Technique》 |
| 页码/总页数 | 403-409 / 7 |
| 语种/中图分类号 | 汉语 / TH741 |
| 关键词 | 光学测量 自由曲面 激光差动共焦 焦占跟踪测量 |
| 基金项目 | 国家重点研发计划变革性技术关键科学问题专项;课题"多面共体自由曲面光学测量与表面表征方法(2017YFA0701203);JY测试仪器工程领域产品替代项目(2006ZCTF0011) |
| 收录情况 | BDHX CSCD CSTPCD |
