摘要 : 采用粒子网格(PIC)法与Monte Carlo碰撞(MCC)模型相结合的方法(PIC/MCC法),研究了在射频空心阴极放电系统中,负直流偏压(-10 ～-50 V)对放电特性的影响.通过模拟获得了在不同的外加负直流偏压下,空心电极孔内的电子密度、径向电场、轴向电场等参数的变... 展开
| 作者 | 贺柳良 欧阳吉庭 黄伟 马黎君 |
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| 作者单位 | |
| 英文名称 | Effect of Bias Voltage on RF Hollow Cathode Discharge: A Simulation Study |
| 期刊名称 | 《真空科学与技术学报》 |
| 期刊英文名称 | 《Chinese Journal of Vacuum Science and Technology》 |
| 页码/总页数 | 1075-1079 / 5 |
| 语种/中图分类号 | 汉语 / O532 |
| 关键词 | 射频放电 空心阴极放电 直流负偏压 PIC/MCC模拟 |
| DOI | 10.13922/j.cnki.cjovst.2018.12.12 |
| 基金项目 | 北京建筑大学市属高校基本科研业务费专项资金资助(X18221);国家自然科学基金项目(11005009) |
| 收录情况 | BDHX CSCD |
| 机标主题词 / 分类号 | 电场;电子密度;径向 / TM15;O572.322;TH13 |
