摘要 : 采用磁控溅射技术在炮钢基材表面制备不同Ti靶电流的TiAlN膜层。利用激光共聚焦、X射线衍射仪、扫描电镜、纳米压痕仪、多功能材料表面性能测试仪、蔡司显微镜等检测方法，研究不同Al／Ti对TiAlN膜层的粗糙度，相结构、纳米硬度、摩擦性能的影响。结果... 展开
| 作者 | 王新 李德元 金浩 陈勇 张罡 |
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| 作者单位 | |
| 英文名称 | Effect of Al/Ti on the Structure、Hardness and Friction Properties of TiAlN Films |
| 期刊名称 | 《科学技术与工程》 |
| 期刊英文名称 | 《Science Technology and Engineering》 |
| 页码/总页数 | 18-23 / 6 |
| 语种/中图分类号 | 汉语 / TG174.444 |
| 关键词 | 磁控溅射 炮钢 TiAlN膜层 液滴 表面粗糙度 相结构 纳米硬度 摩擦系数 |
| 基金项目 | 辽宁省教育厅重点实验室基础研究项目（LZ2014013）资助 |
| 收录情况 | BDHX CSTPCD |
| 机标主题词 / 分类号 | 膜;比率;磁控溅射 / ZT81*;ZT3*;TG17 |
