摘要 : Al在ZrN薄膜中的存在形式与Al含量密切相关,由此导致ZrAlN薄膜的韧性改变.本文发现了一定成分的ZrAlN薄膜同时具备高硬度和高韧性的现象.采用磁控溅射技术在钛合金和单晶Si上沉积不同Al含量的ZrAlN薄膜,测试了硬度(H)、弹性模量(E)和断裂韧性(KIC),表... 展开
| 作者 | 杜军 朱晓莹 臧艳 张平 |
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| 作者单位 | |
| 英文名称 | The relationship of hardness and toughness with phase of magnetron sputtering ZrAlN films |
| 期刊名称 | 《真空》 |
| 期刊英文名称 | 《Vacuum》 |
| 页码/总页数 | 25-30 / 6 |
| 语种/中图分类号 | 汉语 / TG174.444 |
| 关键词 | 纳米复合薄膜 韧性 相结构 磁控溅射 |
| DOI | 10.13385/j.cnki.vacuum.2015.02.07 |
| 基金项目 | 国家自然科学基金项目(51102283,51401238);重点实验基金项目(ZX1380). |
| 收录情况 | CSTPCD |
| 机标主题词 / 分类号 | 硬度;相结构;薄膜 / O34;TG11;TB43 |
