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国家工程技术图书馆
2022年11月29日
摘要 : Philips MRD3710 X射线衍射仪由于其灵敏度高、可靠性好、操作方便，常常用于薄膜测试分析。采用X射线衍射仪对在(100)Si表面溅射Pt，并通过退火处理形成的Pt和Si的化合物进行了测试分析，从而对PtSi膜的研制提供了可靠的数据。
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