CSTPCD
    [期刊]
  • 《电子产品世界》 2007年11期

摘要 : @@ IBM新"Air-Gap"技术采用真空作为低介电常数材料真空管从计算机中已消失了数十年,但如今真空却做出令人吃惊的反击.IBM推出一新半导体制造技术,该技术通过"空气隙"(Air-Gap,实际是微小的真空洞)来替换集成电路中铜线附近的常规绝缘材料.初步结果显... 展开

作者 Tom R. Halfhill   马志强(译)  
英文名称 Making Chips From Thin AIR
期刊名称 《电子产品世界 》
期刊英文名称 《Electronic Engineering & Product World》
页码/总页数 131-133 / 3
语种/中图分类号 汉语 / TN302  
关键词 真空管   半导体制造技术   低介电常数材料   芯片   制作   绝缘材料   集成电路   介质常数  
收录情况 CSTPCD
机标主题词 / 分类号 真空;电子管;集成电路 / TB7;TN11;TN41
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