[期刊]
  • 《电子材料快报》 2000年3期
作者 未休  
期刊名称 《电子材料快报》
页码/总页数 5 / 1
语种/中图分类号 汉语 / TN304.055  
关键词 射频辉光放电   高电导   微晶硅薄膜  
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